晶圆酸洗机-苏州晶淼半导体(在线咨询)-连云港晶圆

喷淋清洗机

是一种利用水压冲洗物体表面的工业清洗设备。它将工件表面污垢剥离，连云港晶圆，冲走，晶圆清洗，达到清洗物体表面的目的。该机具有工位多，功能全，结构合理，操作方便，清洗效果好，对于大批量工件的清洗，---劳动环境，提高清洗和吹干，具有重要的意义。该清洗机为继电器控制全自动形式，除人工装卸工件外，其它工艺工序过程全部自动完成。

湿法刻蚀设备

是一种刻蚀方法，主要在较为平整的膜面上刻出绒面，从而增加光程，减少光的反射，刻蚀可用稀释的---等湿法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术。简单来说，就是中学化学课中化学溶液腐蚀的概念，晶圆酸洗，它是一种纯化学刻蚀，具有优良的选择性，刻蚀完当前薄膜就会停止，而不会损坏下面一层其他材料的薄膜。由于所有的半导体湿法刻蚀都具有各向同性，所以无论是氧化层还是金属层的刻蚀，横向刻蚀的宽度都接近于垂直刻蚀的---。这样一来，上层光刻胶的图案与下层材料上被刻蚀出的图案就会存在一定的偏差，也就无法高地完成图形转移的工作，因此随着特征尺寸的减小，在图形转移过程中基本不再使用。目前，湿法刻蚀一般被用于工艺流程前面的晶圆片准备、清洗等不涉及图形的环节，而在图形转移中干法刻蚀已占据------。