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硅料清洗机设备
现在产业的不断扩大使得硅料的需求量急剧增加,硅料在运用也加大了硅料清洗的需求,但是这种材料需要专门的硅料清洗机来对其进行清洗。那么同时对硅料清洗机的需求量也增大了不少。但是不是说所有的硅料清洗机都是好的,他也是有许多的清洗方法的。
很多企业开发并生产硅料清洗机,宿迁晶圆,所以目前市面上有多种用于太阳能硅料清洗的工艺,比如超声清洗法、rca标准清洗、兆声清洗法、高压喷射法、离心喷射法、等离子清洗、气相清洗、激光束清洗等等,形成了百花齐放的势态。使用何种清洗工艺方法,需要根据不同客户不同硅片上的表面状态、洁净度、污染情况等进行选择。据业内反馈,在众多的清洗方法中,晶圆清洗机,硅料清洗机使用较多的是超声波清洗法与rca标准清洗法。
1、民用清洗领域
40岁以上的人可能还会记得20世纪80年代以前.每个人每月凭票可以购买两块“青松”或“灯塔”牌肥皂.那几乎就是你每月所有的清洗剂了.洗衣服要用它。洗头要用它,洗澡也要用到它.改革开放以来,中国的民用清洗领域发生了翻天覆地的变化.从早期的“威娜宝”到今天的“海飞丝”,“飘柔”,各种各样的洗发香波琳琅满目,各种洗涤用品广告充斥着电视的黄金频段,晶圆酸洗,现在可能已经很少有人再用过去那种肥皂洗头了.
按照刻蚀工艺划分,其主要分为干法刻蚀以及湿法刻蚀。干法刻蚀占------。干法刻蚀主要利用反应气体与等离子体进行刻蚀,利用等离子体与表面薄膜反应,形成挥发性物质,或者直接轰击薄膜表面市值被腐蚀的工艺。干法刻蚀的优势在于能够实现各向---刻蚀,即刻蚀时可控制仅垂直方向的材料被刻蚀,而不影响横向材料,从而---细小图形转移后的保真性。因此在小尺寸的---工艺中,晶圆腐蚀台,已经基本采用干法刻蚀工艺。湿法刻蚀工艺主要是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀,该刻蚀方---导致材料的横向纵向同时腐蚀,会导致一定的线宽损失。
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